書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Abe Yusuke [著]
- 著者標目
- 阿部, 祐介 アベ, ユウスケ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2013]
- 出版年（W3CDTF）
- 2013
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- プラズマ化学気相堆積法を用いたシリコン薄膜の作製およびラジカルの挙動に関する研究 プラズマ カガク キソウ タイセキホウ オ モチイタ シリコン ハクマク ノ サクセイ オヨビ ラジカル ノ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 名古屋大学