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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 北 智洋田主 裕一朗奈良 匡樹 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Silicon photonics devices on 300 mm wafer fabricated by using ArF immersion lithography
- タイトル（掲載誌）
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 113(99):2013.6.21
- 掲載巻
- 113
- 掲載号
- 99