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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Tomohiko Sugita [著]
- 著者標目
- 杉田, 智彦 スギタ, トモヒコ
- 出版年月日等
- [2013]
- 出版年（W3CDTF）
- 2013
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 微細電極を用いたシリコン系材料の電気化学的微細加工 ビサイ デンキョク オ モチイタ シリコンケイ ザイリョウ ノ デンキ カガクテキ ビサイ カコウ
- 授与機関名
- 大阪大学
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