ナノスケール幾何標準 (特集 物理標準と精密工学)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 菅原 健太郎三隅 伊知子権太 聡
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Nanoscale Standards
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 80(7)=955:2014.7
- 掲載巻
- 80
- 掲載号
- 7