Sub-keV級低エネルギーイオン源の開発

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Sub-keV級低エネルギーイオン源の開発

国立国会図書館請求記号
Z16-1114
国立国会図書館書誌ID
026009278
資料種別
記事
著者
稲実 宏ほか
出版者
京都 : 日新電機生産技術本部知的財産部
出版年
2014-10
資料形態
掲載誌名
日新電機技報 = The Nissin electric review : 日新電機グループ技術論文誌 59(2)=143:2014.10
掲載ページ
p.62-65
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
稲実 宏
大丸 智弘
長町 学 他
並列タイトル等
Development of the Ion Source for Low Energy Ion Beam under 1 keV
タイトル(掲載誌)
日新電機技報 = The Nissin electric review : 日新電機グループ技術論文誌
巻号年月日等(掲載誌)
59(2)=143:2014.10
掲載巻
59
掲載号
2
掲載通号
143