集積回路上へのBST薄膜可変容量とAuめっき厚膜インダクタのモノリシック集積化

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集積回路上へのBST薄膜可変容量とAuめっき厚膜インダクタのモノリシック集積化

国立国会図書館請求記号
Z16-B380
国立国会図書館書誌ID
026677033
資料種別
記事
著者
浅野 翔ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2015-08
資料形態
掲載誌名
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 135(8):2015.8
掲載ページ
p.323-329
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
浅野 翔
Ramesh Pokharel
Awinash Anand 他
並列タイトル等
Monolithic Integration of BST Thin Film Varactors and Au Electroplated Thick Film Inductors above IC
タイトル(掲載誌)
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等(掲載誌)
135(8):2015.8
掲載巻
135
掲載号
8
掲載ページ
323-329