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放射光その場X線回折...

放射光その場X線回折による半導体成長機構の解明 (特集 半導体結晶成長機構のその場観察)

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放射光その場X線回折による半導体成長機構の解明(特集 半導体結晶成長機構のその場観察)

国立国会図書館請求記号
YH247-1397
国立国会図書館書誌ID
026842879
資料種別
記事
著者
高橋 正光
出版者
東京 : 日本結晶成長学会
出版年
2015
資料形態
記録メディア
掲載誌名
日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 42(3):2015
掲載ページ
p.201-209,表紙
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記録メディア デジタル

資料種別
記事
著者・編者
高橋 正光
著者標目
並列タイトル等
Study of Semiconductor Growth Mechanism using in Situ Synchrotron X-ray Diffraction
タイトル(掲載誌)
日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
巻号年月日等(掲載誌)
42(3):2015
掲載巻
42
掲載号
3