ガウシアン形状ATカット水晶振動子の作製および評価

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資料種別: 記事
タイトル: ガウシアン形状ATカット水晶振動子の作製および評価
著者・編者: 轡田浩規
渡辺将
寒川雅之
安部隆
著者標目: 轡田浩規
渡辺将
寒川雅之
安部隆
並列タイトル等: Evaluation and fabrication of Gaussian-shaped AT-cut quartz crystal resonator
タイトル（掲載誌）: 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
巻号年月日等（掲載誌）: 32:2015.10.28-30
掲載巻: 32
掲載ページ: 1-4
掲載年月日（W3CDTF）: 2015-10
出版事項（掲載誌）: [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 水晶振動子
微粒子
反応性イオンエッチング
質量計測
Quartz crystal resonator
Microparticle
RIE
Mass measurement
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: YH247-299
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 027425953
http://id.ndl.go.jp/bib/027425953
整理区分コード: 632