Depth analysis of DSPC by SIMS, using gas cluster ion beam

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Depth analysis of DSPC by SIMS, using gas cluster ion beam

国立国会図書館請求記号
Z63-C795
国立国会図書館書誌ID
028571459
資料種別
記事
著者
S. Nakagawaほか
出版者
Uji : Quantum Science and Engineering Center
出版年
2012
資料形態
掲載誌名
Annual report of Quantum Science and Engineering Center 15:2012.4-2013.3
掲載ページ
p.21-23
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
S. Nakagawa
T. Seki
T. Aoki
J. Matsuo
タイトル(掲載誌)
Annual report of Quantum Science and Engineering Center
巻号年月日等(掲載誌)
15:2012.4-2013.3
掲載巻
15
掲載ページ
21-23
掲載年月日(W3CDTF)
2012
ISSN(掲載誌)
1345-0700