招待講演新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析 (光・量子デバイス研究会微細加工技術とバイオ・メディカル応用)

招待講演新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析

(光・量子デバイス研究会微細加工技術とバイオ・メディカル応用)

掲載誌名: 電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan / 光・量子デバイス研究会 [編] 2018(22-30):2018.3.28

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資料種別: 記事
タイトル: 招待講演新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析
著者・編者: 瀬木利夫
青木学聡
松尾二郎
シリーズタイトル: 光・量子デバイス研究会微細加工技術とバイオ・メディカル応用
著者標目: 瀬木利夫
青木学聡
松尾二郎
並列タイトル等: Analysis of Organic Materials with SIMS Using New Probe Ions
タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan / 光・量子デバイス研究会 [編]
巻号年月日等（掲載誌）: 2018(22-30):2018.3.28
掲載巻: 2018
掲載号: 22-30
掲載ページ: 29-33
掲載年月日（W3CDTF）: 2018-03-28
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 二次イオン質量分析
クラスター
MeVイオン
有機材料分析
SIMS
cluster
MeV ion
organic materials analysis
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
レポート番号（雑誌記事）: OQD-18-29
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z43-236
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 028999634
http://id.ndl.go.jp/bib/028999634
整理区分コード: 632