Pd系金属ガラスを用いた高速応答・低消費電力容量型MEMS水素センサに関するレビュー (特集 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 山﨑 宏明林 裕美増西 桂小野 大騎池橋 民雄
- 並列タイトル等
- A Review of Capacitive MEMS Hydrogen Sensor using Pd based Metallic Glass with Fast Response and Low Power Consumption
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 138(7):2018.7
- 掲載巻
- 138
- 掲載号
- 7