CoPtCrSiターゲットの酸素リアクティブスパッタリングによるCoPtCr–SiO₂グラニュラー薄膜の低ガス圧成膜
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 佐々木 晋五タム キムコング日向 慎太朗斉藤 伸
- 並列タイトル等
- Low–pressure Deposition of CoPtCr–SiO₂ Granular Films by Ar+O₂ Reactive Sputtering Using CoPtCrSi Target
- タイトル（掲載誌）
- 表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 61(7):2018.7
- 掲載巻
- 61
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- 469-473