多結晶ダイヤモンド円盤工具を用いた単結晶SiCの放電研削複合加工
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 黒澤 智子閻 紀旺
- 並列タイトル等
- Electrical Discharge Machining and Grinding of SiC Single Crystal Using a Disc-type Hybrid Tool of Polycrystalline Diamond
- タイトル（掲載誌）
- 電気加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Electrical Machining Engineers
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 53(132):2019.3
- 掲載巻
- 53
- 掲載号
- 132
- 掲載ページ
- 12-18