雑誌 電子資料日本結晶成長学会誌
大口径SiCバルク結...

大口径SiCバルク結晶成長における主要技術とプロセス・インフォマティクスの活用 (特集 ワイドバンドギャップ材料の結晶成長の最前線)

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大口径SiCバルク結晶成長における主要技術とプロセス・インフォマティクスの活用

(特集 ワイドバンドギャップ材料の結晶成長の最前線)

国立国会図書館請求記号
YH247-1397
国立国会図書館書誌ID
031776682
資料種別
記事
著者
宇治原 徹ほか
出版者
東京 : 日本結晶成長学会
出版年
2021
資料形態
記録メディア
掲載誌名
日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 48(3):2021
掲載ページ
p.1-8
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書誌情報

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記録メディア

資料種別
記事
著者・編者
宇治原 徹
朱 燦
郁 万成
黨 一帆
角岡 洋介
古庄 智明
鈴木 皓己
沓掛 健太朗
高石 将輝
磯野 優
竹内 一郎
田川 美穂
原田 俊太
並列タイトル等
Technologies for large-diameter SiC crystal growth and application of process informatics
タイトル(掲載誌)
日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
巻号年月日等(掲載誌)
48(3):2021
掲載巻
48
掲載号
3