a-Si:Hナノボール膜からのPL発光特性におけるアニール処理効果

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a-Si:Hナノボール膜からのPL発光特性におけるアニール処理効果

国立国会図書館請求記号
Z15-B41
国立国会図書館書誌ID
10428107
資料種別
記事
著者
斉藤 裕介ほか
出版者
[茨木] : プラズマ応用科学会
出版年
2009-06
資料形態
掲載誌名
プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS 17(1) 2009.6
掲載ページ
p.67~72
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
斉藤 裕介
坂本 元
加藤 勇
並列タイトル等
Annealing effect on photoluminescence characteristics of a-Si:H nanoball-films
タイトル(掲載誌)
プラズマ応用科学 = Applied plasma science : journal of IAPS
巻号年月日等(掲載誌)
17(1) 2009.6
掲載巻
17
掲載号
1
掲載ページ
67~72