大面積モールド作製プロセスおよびナノインプリント装置用アライメント技術 (特集 マイクロ加工および支援技術)
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 石橋 健太郎小久保 光典後藤 博史 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Fabrication process for large size mold and alignment method for nanoimprint system
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 130(8) 2010.8
- 掲載巻
- 130
- 掲載号
- 8