年間特集「水」--アナリティカルレポート 気相分解/誘導結合プラズマ質量分析法を用いたシリコンウェハー表面金属分析による超純水水質評価
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 加藤 俊正星 重行野口 俊彦 他
- 並列タイトル等
- Evaluation of the cleanliness of ultrapure water by the analysis for metal concentration deposited on Si wafer surface using Vapor Phase Decomposition/Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry
- タイトル（掲載誌）
- 分析化学 / 日本分析化学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 59(7) (通号 678) 2010.7
- 掲載巻
- 59
- 掲載号
- 7
- 掲載通号
- 678