ファイバ-固体ハイブリッドパルス199nmレーザ光源の開発

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ファイバ-固体ハイブリッドパルス199nmレーザ光源の開発

国立国会図書館請求記号
Z16-B323
国立国会図書館書誌ID
10796374
資料種別
記事
著者
篠崎 琢也ほか
出版者
吹田 : レーザ加工学会
出版年
2010-04
資料形態
掲載誌名
レーザ加工学会誌 = Journal of Japan Laser Processing Society 17(1・2) 2010.4
掲載ページ
p.65~67
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
篠崎 琢也
浦田 佳治
和田 芳夫 他
並列タイトル等
Development of pulse DUV laser at 199 nm using fiber-bulk hybrid amplifier
タイトル(掲載誌)
レーザ加工学会誌 = Journal of Japan Laser Processing Society
巻号年月日等(掲載誌)
17(1・2) 2010.4
掲載巻
17
掲載号
1・2
掲載ページ
65~67