ノボラック系ポジ型レジスト中の感光剤量の相違による現像特性

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ノボラック系ポジ型レジスト中の感光剤量の相違による現像特性

国立国会図書館請求記号
Z16-607
国立国会図書館書誌ID
10853561
資料種別
記事
著者
中尾 昭和ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ
出版年
2010-10
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編 93(10) (通号 514) 2010.10
掲載ページ
p.360~366
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
中尾 昭和
山本 雅史
河野 昭彦 他
並列タイトル等
Relationship between the development property and the photo active compound contents of the positive-tone novolak resist
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
93(10) (通号 514) 2010.10
掲載巻
93
掲載号
10
掲載通号
514