アクティブマスダンパ...

アクティブマスダンパによる露光装置の性能改善

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アクティブマスダンパによる露光装置の性能改善

国立国会図書館請求記号
Z16-1056
国立国会図書館書誌ID
10939101
資料種別
記事
著者
高橋 正人ほか
出版者
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
出版年
2010-12
資料形態
掲載誌名
日本機械学会論文集. C編 76(772) 2010.12
掲載ページ
p.3350~3356
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
高橋 正人
涌井 伸二
牧野内 進
並列タイトル等
Performance improvement of semiconductor lithograph machine using active mass damper system
タイトル(掲載誌)
日本機械学会論文集. C編
巻号年月日等(掲載誌)
76(772) 2010.12
掲載巻
76
掲載号
772
掲載ページ
3350~3356