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雑誌電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
巻号110(404) 2011.1.28・29
記事低温形成表示デバイス...

低温形成表示デバイス向け絶縁膜の新規対向電極CVD法による形成 (電子ディスプレイ)

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低温形成表示デバイス向け絶縁膜の新規対向電極CVD法による形成

(電子ディスプレイ)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
10970480
資料種別
記事
著者
松田 時宜ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2011-01
資料形態
紙
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 110(404) 2011.1.28・29
掲載ページ
p.87～90
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書誌情報

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紙

資料種別
記事
タイトル
低温形成表示デバイス向け絶縁膜の新規対向電極CVD法による形成
著者・編者
松田 時宜
古田 守
平松 孝浩 他
シリーズタイトル
電子ディスプレイ
著者標目
松田 時宜
古田 守
平松 孝浩
並列タイトル等
Deposition of insulator films with new facing electrodes CVD for low temperature devices
タイトル（掲載誌）
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等（掲載誌）
110(404) 2011.1.28・29
掲載巻
110
掲載号
404