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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 工藤 昌宏Hong-An Shih赤堀 誠志 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Effects of surface pre-treatments for AlN sputtering and Al2O3 atomic layer depositions on GaAs(001)
- タイトル（掲載誌）
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 111(167) 2011.7.29・30
- 掲載巻
- 111
- 掲載号
- 167