対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングの一検討 (光エレクトロニクス)

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対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングの一検討

(光エレクトロニクス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
11201911
資料種別
記事
著者
平野 拓一ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2011-07
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 111(148) 2011.7.21・22
掲載ページ
p.85~90
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
平野 拓一
岡田 健一
広川 二郎 他
シリーズタイトル
並列タイトル等
A study of EM simulation modeling for excitations using GSG pads with symmetric circuit in on-wafer measurement
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
111(148) 2011.7.21・22
掲載巻
111
掲載号
148