Ga2O3の気相エピタキシャル成長
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 森 悦雄 他
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 東京大学工学部総合試験所年報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 35) 1976.09
- 掲載通号
- 35
- 掲載ページ
- p155～161
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1976-09
- ISSN（掲載誌）
- 0371-3067