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大型アルミニウム合金製ターボ分子ポンプ (第24回真空に関する連合講演会プロシーディングス)

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大型アルミニウム合金製ターボ分子ポンプ(第24回真空に関する連合講演会プロシーディングス)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
2993848
資料種別
記事
著者
金戸 成 他
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
1984-05
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 27(5) 1984.05
掲載ページ
p.p429~432
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
金戸 成 他
著者標目
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
27(5) 1984.05
掲載巻
27
掲載号
5
掲載ページ
p429~432