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高周波プラズマスパッ...

高周波プラズマスパッタ型負重イオン源における気体材料の負イオン生成 (第35回真空に関する連合講演会プロシーディングス)

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高周波プラズマスパッタ型負重イオン源における気体材料の負イオン生成

(第35回真空に関する連合講演会プロシーディングス)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
3612169
資料種別
記事
著者
辻 博司 他
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
1995-03
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 38(3) 1995.03
掲載ページ
p.p218~220
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
辻 博司 他
著者標目
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
38(3) 1995.03
掲載巻
38
掲載号
3
掲載ページ
p218~220