有磁場マイクロ波プラズマCVD法およびマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の作製 (ダイヤモンド薄膜の成膜技術・評価および応用<特集>)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 鈴木 準一川原田 洋平木 昭夫
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 42(12) 1991.12
- 掲載巻
- 42
- 掲載号
- 12
- 掲載ページ
- p1189～1195