モノシランの気相熱分解による微粒子へのシリコン超微粉コーティング (微粒子設計<特集>)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 小島 紀徳 他
- シリーズタイトル
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- 化学工学論文集
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 18(3) 1992.05
- 掲載巻
- 18
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- p274～280