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シュリンクフィッターを用いたポリゴンミラーの超精密接合(接合体の静的・動的特性と寸法が平面度に及ぼす影響)

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シュリンクフィッターを用いたポリゴンミラーの超精密接合(接合体の静的・動的特性と寸法が平面度に及ぼす影響)

国立国会図書館請求記号
Z16-1056
国立国会図書館書誌ID
4003972
資料種別
記事
著者
新田 勇ほか
出版者
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
出版年
1996-07
資料形態
掲載誌名
日本機械学会論文集. C編 62(599) 1996.07
掲載ページ
p.2785~2791
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
新田 勇
古川 英男
小俣 公夫 他
タイトル(掲載誌)
日本機械学会論文集. C編
巻号年月日等(掲載誌)
62(599) 1996.07
掲載巻
62
掲載号
599
掲載ページ
2785~2791
掲載年月日(W3CDTF)
1996-07