巻号(362)
半導体実装におけるA...

半導体実装におけるAu/Al接合信頼性に及ぼすAl表面自然酸化膜の影響

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半導体実装におけるAu/Al接合信頼性に及ぼすAl表面自然酸化膜の影響

国立国会図書館請求記号
Z17-328
国立国会図書館書誌ID
4140024
資料種別
記事
著者
柘植 敦子ほか
出版者
東京 : 新日本製鐵技術開発本部
出版年
1997-02
資料形態
デジタル
掲載誌名
新日鉄技報 / 新日本製鐡株式会社技術開発本部, 技術開発企画部 編 (通号 362) 1997.02
掲載ページ
p.77~82
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
柘植 敦子
水野 薫
宇野 智裕 他
タイトル(掲載誌)
新日鉄技報 / 新日本製鐡株式会社技術開発本部, 技術開発企画部 編
巻号年月日等(掲載誌)
(通号 362) 1997.02
掲載通号
362
掲載ページ
77~82
掲載年月日(W3CDTF)
1997-02
ISSN(掲載誌)
0916-7609