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半導体量子細線作成のための電子線レジストの特性評価

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半導体量子細線作成のための電子線レジストの特性評価

国立国会図書館請求記号
Z14-1428
国立国会図書館書誌ID
4160467
資料種別
記事
著者
堀部 卓郎ほか
出版者
日野 : 東京都立科学技術大学学術研究委員会
出版年
1996-12
資料形態
掲載誌名
東京都立科学技術大学紀要 / 東京都立科学技術大学 編 (通号 10) 1996.12
掲載ページ
p.65~70
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
堀部 卓郎
森本 弘
藤田 安彦
タイトル(掲載誌)
東京都立科学技術大学紀要 / 東京都立科学技術大学 編
巻号年月日等(掲載誌)
(通号 10) 1996.12
掲載通号
10
掲載ページ
65~70
掲載年月日(W3CDTF)
1996-12
ISSN(掲載誌)
1340-3176