イオンビームスパッタ...

イオンビームスパッタ法による窒素イオン衝撃を用いたFeN薄膜の作製

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イオンビームスパッタ法による窒素イオン衝撃を用いたFeN薄膜の作製

国立国会図書館請求記号
Z15-398
国立国会図書館書誌ID
4192956
資料種別
記事
著者
岩坪 聡ほか
出版者
東京 : 日本磁気学会
出版年
1997-04
資料形態
デジタル
掲載誌名
日本応用磁気学会誌 21(4-2) 1997.04
掲載ページ
p.437~440
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資料詳細

要約等:

The relationship between the structure and magnetic properties of FeN films and the deposition conditions in ion beam sputtering with nitrogen bombard...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
岩坪 聡
高橋 隆一
タイトル(掲載誌)
日本応用磁気学会誌
巻号年月日等(掲載誌)
21(4-2) 1997.04
掲載巻
21
掲載号
4-2
掲載ページ
437~440
掲載年月日(W3CDTF)
1997-04