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雑誌日本応用磁気学会誌
巻号22(4) (通号 117)-(通号 118) 19980400(増刊共)
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MRヘッドギャップ用アルミナ膜の検討

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MRヘッドギャップ用アルミナ膜の検討

国立国会図書館請求記号
Z15-398
国立国会図書館書誌ID
4458017
資料種別
記事
著者
斎藤 美紀子ほか
出版者
東京 : 日本磁気学会
出版年
1998-04
資料形態
デジタル
掲載誌名
日本応用磁気学会誌 22(4-2) 1998.04
掲載ページ
p.257～260
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資料詳細

要約等：

The insulating properties, internal stress, and film structure of Si-O-added Al-O films, and their etching characteristics when immersed in water, wer...

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デジタル

資料種別
記事
タイトル
MRヘッドギャップ用アルミナ膜の検討
著者・編者
斎藤 美紀子
鈴木 富士夫
横田 均 他
著者標目
斎藤 美紀子
鈴木 富士夫
横田 均
タイトル（掲載誌）
日本応用磁気学会誌
巻号年月日等（掲載誌）
22(4-2) 1998.04
掲載巻
22
掲載号
4-2
掲載ページ
257～260
掲載年月日（W3CDTF）
1998-04