極薄シリコン酸化膜の新しい作製手法の開発--超高密度記録素子作製に向けた大きな一歩
国立国会図書館館内限定公開
収録元データベースで確認する
国立国会図書館デジタルコレクション
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 黒河 明一村 信吾中村 健 他
- タイトル（掲載誌）
- 電総研ニュース = ETL news / 工業技術院電子技術総合研究所 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (通号 600) 2000.01
- 掲載通号
- 600
- 掲載ページ
- 10～12
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2000-01
- ISSN（掲載誌）
- 0011-846X