Highly Accurate Composition Analysis of(Pb,Zr)TiO3 Using a Scanning Electron Microscope/Energy Dispersive X-Ray Spectrometer

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Highly Accurate Composition Analysis of(Pb,Zr)TiO3 Using a Scanning Electron Microscope/Energy Dispersive X-Ray Spectrometer

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
4975062
資料種別
記事
著者
Mitsuo Sugaほか
出版者
Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版年
2000-01
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 39(1) (通号 512) 2000.01
掲載ページ
p.316~319
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資料詳細

要約等:

A highly accurate composition analysis method for (Pb,Zr)TiO<FONT SIZE="-1"><SUB>3</SUB></FONT> (PZT) thin films was developed that uses a scanning el...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Mitsuo Suga
Kazuyoshi Torii
Takashi Kumihashi 他
タイトル(掲載誌)
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等(掲載誌)
39(1) (通号 512) 2000.01
掲載巻
39
掲載号
1
掲載通号
512
掲載ページ
316~319