解説 電流磁場印加引上げ法(EMCZ)によるシリコン単結晶中の酸素濃度制御 (小特集 シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 渡辺 匡人江口 実王 偉 他
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 26(5) 1999
- 掲載巻
- 26
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 235～241