薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報)薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 秦 誠一後藤 潤佐藤 海二
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 66(2) (通号 782) 2000.02
- 掲載巻
- 66
- 掲載号
- 2
- 掲載通号
- 782
- 掲載ページ
- 287～291