Enhancement of Barrier Properties in Chemical Vapor Deposited TiN Employing Multi-Stacked Ti/TiN Structure
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Ting-Chang ChangPo-Tsun LiuYa-Liang Yang 他
- タイトル（掲載誌）
- Japanese journal of applied physics. Pt. 2, Letters
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 39(2A) (通号 317) 2000.02
- 掲載巻
- 39
- 掲載号
- 2A
- 掲載通号
- 317
- 掲載ページ
- L82～85