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雑誌表面科学
巻号21(7)-21(12) 20000700-20001200
記事SiC基板表面の平坦...

SiC基板表面の平坦化技術 (特集:SiC素子実用化のための表面研究)

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SiC基板表面の平坦化技術(特集:SiC素子実用化のための表面研究)

国立国会図書館請求記号
Z15-379
国立国会図書館書誌ID
5593131
資料種別
記事
著者
土田 秀一ほか
出版者
東京 : 日本表面科学会
出版年
2000-12
資料形態
デジタル
掲載誌名
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 21(12) 2000.12
掲載ページ
p.784～790
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資料詳細

要約等：

The effects of H<sub>2</sub>- and HF- on SiC{0001} surfaces interms of morphology and adsorbates have been investigated. High temperature annealing in...

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デジタル

資料種別
記事
タイトル
SiC基板表面の平坦化技術
著者・編者
土田 秀一
直本 保
鎌田 功穂 他
シリーズタイトル
特集:SiC素子実用化のための表面研究
著者標目
土田 秀一
直本 保
鎌田 功穂
タイトル（掲載誌）
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
巻号年月日等（掲載誌）
21(12) 2000.12
掲載巻
21
掲載号
12
掲載ページ
784～790