微細T型ゲートを有するサブミリ波InP-HEMTの作製--微細T型ゲート加工条件の最適化

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微細T型ゲートを有するサブミリ波InP-HEMTの作製--微細T型ゲート加工条件の最適化

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
5673365
資料種別
記事
著者
篠原 啓介ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2001-01-18
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 100(548) 2001.1.18
掲載ページ
p.43~47
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
篠原 啓介
広瀬 信光
東脇 正高 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
100(548) 2001.1.18
掲載巻
100
掲載号
548
掲載ページ
43~47
掲載年月日(W3CDTF)
2001-01-18