Cat-CVD法によるTFT作製 (低温ポリSi TFTと有機EL技術)

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Cat-CVD法によるTFT作製

(低温ポリSi TFTと有機EL技術)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
5775337
資料種別
記事
著者
坂井 全弘ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2001-04-19
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101(14) 2001.4.19
掲載ページ
p.27~31
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
坂井 全弘
堤 隆之
増田 淳 他
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
101(14) 2001.4.19
掲載巻
101
掲載号
14
掲載ページ
27~31