速報 ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による固体電解質型燃料電池の作製--ヘリコン波励起プラズマのエネルギー制御
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 森本 克己岡山 英夫長田 昭義
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 44(5) 2001.5
- 掲載巻
- 44
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 539～543
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2001-05