φ300Siウエハ加工機開発のための研削シミュレーション

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φ300Siウエハ加工機開発のための研削シミュレーション

国立国会図書館請求記号
Z16-1147
国立国会図書館書誌ID
5992255
資料種別
記事
著者
佐川 克雄ほか
出版者
東京 : 砥粒加工学会
出版年
2001-12
資料形態
掲載誌名
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 45(12) (通号 232) 2001.12
掲載ページ
p.574~579
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
佐川 克雄
江田 弘
周 立波 他
タイトル(掲載誌)
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
巻号年月日等(掲載誌)
45(12) (通号 232) 2001.12
掲載巻
45
掲載号
12
掲載通号
232
掲載ページ
574~579