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雑誌電子顕微鏡
巻号36-36 20010000-20010000(Suppl.)
記事Nanofabric...

Nanofabrication of Si and its related materials with an electron beam (日本電子顕微鏡学会第46回シンポジウム 材料のナノ・生物のナノ ; 材料系セッション3 TEMとナノファブリケーション)

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Nanofabrication of Si and its related materials with an electron beam

(日本電子顕微鏡学会第46回シンポジウム 材料のナノ・生物のナノ ; 材料系セッション3 TEMとナノファブリケーション)

国立国会図書館請求記号
Z16-896
国立国会図書館書誌ID
5992291
資料種別
記事
著者
竹口 雅樹ほか
出版者
東京 : 日本顕微鏡学会
出版年
2001
資料形態
紙
掲載誌名
電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 36(-) (Suppl.2) 2001
掲載ページ
p.84～87
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紙

資料種別
記事
タイトル
Nanofabrication of Si and its related materials with an electron beam
著者・編者
竹口 雅樹
K. Furuya
シリーズタイトル
日本電子顕微鏡学会第46回シンポジウム 材料のナノ・生物のナノ ; 材料系セッション3 TEMとナノファブリケーション
著者標目
竹口 雅樹
K. Furuya
並列タイトル等
電子ビームによるナノ構造創製
タイトル（掲載誌）
電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編
巻号年月日等（掲載誌）
36(-) (Suppl.2) 2001
掲載巻
36
掲載号
-