ヘルプ
ヘルプ
雑誌表面科学
巻号23(2) 2002.2
記事分子動力学法によるシ...

分子動力学法によるシリコン酸化膜の大規模モデリング (特集:半導体表面界面形成の微視的理解における理論の進展)

記事を表すアイコン

インターネットで読む

すぐに読む

国立国会図書館デジタルコレクション

デジタルデータあり（Japan Link Center）

すぐに読む

CiNii Research

分子動力学法によるシリコン酸化膜の大規模モデリング(特集:半導体表面界面形成の微視的理解における理論の進展)

国立国会図書館請求記号
Z15-379
国立国会図書館書誌ID
6066167
資料種別
記事
著者
渡邉 孝信ほか
出版者
東京 : 日本表面科学会
出版年
2002-02
資料形態
デジタル
掲載誌名
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 23(2) 2002.2
掲載ページ
p.74～80
すべて見る

資料詳細

要約等：

Large-scale modeling of ultra-thin SiO<Sub>2</Sub> films on Si(001) surfaces has been performed by means of molecular dynamics utilizing our original ...

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

連携機関・データベースの一覧

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    デジタル
    連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
    この本の所蔵を確認

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

デジタル

資料種別
記事
タイトル
分子動力学法によるシリコン酸化膜の大規模モデリング
著者・編者
渡邉 孝信
辰村 光介
大泊 巖
シリーズタイトル
特集:半導体表面界面形成の微視的理解における理論の進展
著者標目
渡邉 孝信
辰村 光介
大泊 巖
タイトル（掲載誌）
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
巻号年月日等（掲載誌）
23(2) 2002.2
掲載巻
23
掲載号
2
掲載ページ
74～80