ULSIゲート絶縁膜の高輝度軟X線・硬X線光電子分光 (特集/放射光利用とナノテクノロジー)

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ULSIゲート絶縁膜の高輝度軟X線・硬X線光電子分光

(特集/放射光利用とナノテクノロジー)

国立国会図書館請求記号
Z17-54
国立国会図書館書誌ID
6680207
資料種別
記事
著者
野平 博司ほか
出版者
東京 : 小峰工業出版
出版年
2003-09
資料形態
掲載誌名
化學工業 54(9) (通号 643) 2003.9
掲載ページ
p.698~703
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
野平 博司
B. S. Mustafa
白石 貴義 他
タイトル(掲載誌)
化學工業
巻号年月日等(掲載誌)
54(9) (通号 643) 2003.9
掲載巻
54
掲載号
9
掲載通号
643