電流検出型原子間力顕微鏡を用いたゲート絶縁膜の局所リーク電流評価

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電流検出型原子間力顕微鏡を用いたゲート絶縁膜の局所リーク電流評価

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
7036759
資料種別
記事
著者
世古 明義ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2004-06-22
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104(135) 2004.6.22
掲載ページ
p.31~36
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
世古 明義
渡辺 行彦
近藤 博基 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
104(135) 2004.6.22
掲載巻
104
掲載号
135
掲載ページ
31~36
掲載年月日(W3CDTF)
2004-06-22