HfAlOx/下地膜界面反応抑制の検討 (特集:ゲート絶縁膜/Si界面の評価)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 三橋 理一郎堀内 淳川原 孝明 他
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 26(5) 2005.5
- 掲載巻
- 26
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 261～267