水素雰囲気中高温アニール処理によるシリコン微細構造のナノスケール制御
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 清水 了典岩崎 裕
- 並列タイトル等
- Nanoscale-architectural control of silicon microstructures by high-temperature annealing in hydrogen ambient
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 76(7) 2007.7
- 掲載巻
- 76
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- 764～770