最近の展望 直線集束ビーム超音波材料解析システムによる極端紫外線リソグラフィー用超低膨張ガラスの超精密評価法の開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 櫛引 淳一
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Recent developments: Development of superprecise evaluation method for EUVL-grade ultralow-expansion glass using line-focus-beam ultrasonic material characterization system
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 76(7) 2007.7
- 掲載巻
- 76
- 掲載号
- 7
- 掲載ページ
- 771～775